光学表面形貌特征测量分析仪

产品功能

    对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波面度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于150*100*100mm，更大尺寸可以定做；工作台较大承载重量40Kg。

产品广泛应用于汽车工业、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS等行业。

 

应用范围

* 机械密封的平面度和轮廓测量（包括圆柱套筒累零件，如轴、凸轮、缸套、阀门挺杆、曲轴、活塞杆等）； 

* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析；

* BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析；

* 造纸行业的表面纹理分析；

* 膜片的厚度及涂层的高度测量等；

* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量；

* 压花材料表面特征分析，如合成材料皮革表面形状测量分析；

* 丝印装置涂层厚度测量，如电子产品和生物医疗器械等；

* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析；

* 法医学上三维表面测量分析；

* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析；

* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析；

* 医学上如人造皮肤的轮廓分析；

* 沟槽深度和截面计算分析；

* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量；

* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析；

* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波面度和轮廓测量分析。

 

产品介绍

    英国Scantron Industrial Products Ltd公司生产的Proscan 2000光学表面形貌特征测量分析仪，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品的和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高。由于采用非接触的测量方式，线性电机可以避免驱动装置的噪声和振动对测量结果的影响。

    Proscan 2000光学表面粗糙度轮廓仪较大扫描速度可达到80mm/秒，每秒2000个数据点，每行可扫描20000个独立的数据点，高度分辨率更可达到3nm，测量范围是80μm-10mm。

    Proscan 2000以花岗岩为工作平台，是快速、精准、非接触式的三维表面形态测量仪器。广泛应用各种表面轮廓和形貌特征进行精确测量的场合。高性能非接触式光学传感器扫面范围是150mm（长）X100mm（宽），对被测件平面的扫描点数较多可达八百万个数据点。配套软件可以对各种测量参数进行分析。

 

产品特点

* 花岗岩框架结构，受热胀冷缩影响非常小，基本没有振动。

* 配套软件可以以二维或三维的方式进行扫描结果显示和形貌分析。

* 数据分析结果方便导出，导出方式可谓ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。

* 数据设定可选择二维X-Y平面视图，还可进行三点平面修正和自动水平功能。

 

评定参数

Am               轮廓算术平均值

Ra               粗糙度中心线平均值

Rz（DIN）        峰谷高低平均值

Rz（ISO）        十点高度

Rmax             峰谷高低较大值

Rp               峰值高度平均值

Rq               粗糙度均值平均方根

Rpm              峰值高度较大值

Rvm              谷值深度较大值

R3z              *三峰谷高低平均值

Wt               波形深度总值

Pt               轮廓深度总值

Nr               峰值计数归一

Tpa              材质率（宏）

D                峰值密度

S                峰值轮廓平均间距

Sm               峰值就地平均间距

Lm               采样长度

共面性

Warpage滤波器，过滤表面粗糙度数据，而仅保留轮廓数据

Surface滤波器，过滤表面轮廓数据，而仅保留粗糙度数据

对单点进行编辑

在X和（或）Y轴上进行插值

半径计算

体积计算

表面积计算

截面积计算

三维轮廓显示

 

技术规范

扫描仪较大尺寸（长*宽*高）
 740*542*（780-835）mm
 
扫描仪较大重量
 40Kg
 
电控部分尺寸
 570*700*750mm
 
电控部分重量
 40Kg
 
计算机显示器
 15” LED显示器
 
照明与定位摄像头（可选）
 14” CRT
 
扫面平台尺寸
 380*280mm
 
X和Y轴行程距离
 150mm*100mm
 
Z轴行程距离
 100mm
 
电源
 220 - 240 VAC, 50/60Hz
 
使用环境
 10-35℃
 
X及Y轴扫描点较小间隔距离
 1μm
 
X及Y轴扫描点较大间隔距离
 9.999mm
 
标准配置扫描样品较大重量
 6Kg
 
较大数据采集速度（取决于传感器及设定）
 20000点/秒
 
较大扫描速度（取决于传感器及设定）
 80mm/秒
 
回程速度
 100mm/秒
 
较大扫描点数
 576万点